微量氮气体分析仪仪器采用高频高压电源电离气体，产生正电荷离子和自由电子，形成等离子体环境，其中的N2分子被电离成原子。正电荷离子、自由点在电场的作用下分别加速移向负极、正极。由于碰撞，离子和电子将自身能量传递给原子，使得气态原子被激发。原子被激发后，其外层电子发生能级跃迁，在返回基态时发射特征光谱。通过对特征光谱的检测，分析出微量氮气的浓度。